چرنے کا واقعہ ایکس رے کا پھیلاؤ

چرنے کے واقعات کا مطلب ہے کہایکسرےفلم کے سامنے ایک بہت ہی چھوٹے واقعاتی زاویہ (<5°) پر ظاہر ہوتا ہے، جو فلم میں دخول کی گہرائی کو بہت کم کر دیتا ہے۔ ایک ہی وقت میں، بڑا کم واقعاتی زاویہ نمونے پر ایکس رے شعاع ریزی کو بڑھاتا ہے اور پھیلاؤ میں حصہ لینے والے نمونے کے حجم کو بڑھاتا ہے۔ پتلی فلموں کے ڈھانچے کے تجزیہ میں جی آئی ڈی کا کردار اس مقالے میں متعارف کرایا گیا ہے۔

مثال: سنگل لیئر فلم جی آئی ڈی ٹیسٹ

اس مثال میں، نمونہ ایک 14nm RuO2 پولی کرسٹل لائن فلم ہے جو (100) مونو کرسٹل لائن سلکان سبسٹریٹ پر تیار کی گئی ہے۔ لہذا، روایتی میں پتلی فلم کے نمونے کا اشارہایکس آر ڈیپیٹرن کو سی سنگل کرسٹل کے سگنل سے نقاب پوش کیا جاتا ہے۔ اگرچہ پتلی فلم کے پھیلاؤ کی چوٹیوں کو بڑھی ہوئی تصویر میں دیکھا جا سکتا ہے، لیکن سگنل بہت کمزور ہے۔ 0.3 ڈگری کے واقعے کے زاویہ پر نمونے کا جی آئی ڈی سپیکٹرم شکل 2 میں دکھایا گیا ہے۔ تصویر میں سی سنگل کرسٹل سبسٹریٹ کا کوئی اشارہ نہیں ہے، اور فلم سگنل واضح ہے۔ 

                                                                                    تصویر 1

                                                                                    تصویر 2