عالمی سیمی کنڈکٹر سازوسامان کے اخراجات اوپر کی طرف داخل ہو چکے ہیں۔ نئی ٹیکنالوجیز اور نئی مصنوعات جیسے 5G، انٹرنیٹ آف تھنگز، بڑا ڈیٹا، مصنوعی ذہانت اور آٹوموٹیو الیکٹرانکس کا اطلاق سیمی کنڈکٹر مارکیٹ کی بہت بڑی مانگ لائے گا، اور صنعت ابھرتے ہوئے سائیکل کے ایک نئے دور میں داخل ہوگی۔ پوری صنعت کی زنجیر کے اگلے سرے پر ویفر کی پیداوار، ایپیٹیکسیل گروتھ، پیکیجنگ اور انضمام، اور اس کے عمل اور پروڈکٹ کا معیار براہ راست ڈاون اسٹریم انڈسٹری ایپلی کیشنز سے متعلق ہے۔ ریگاکو میں آلات کا مکمل نظام ہے، جیسےایکس رے کا پھیلاؤ(ایکس آر ڈی)، ایکس رے فلوروسینس (ایکس آر ایف)، ایکس رے ریفلیکٹومیٹر (ایکس آر آر) اور ایکس رے ٹوپوگرافی (ایکس آر ٹی)، جو ویفر کی پیداوار سے لے کر مربوط سرکٹس تک پورے عمل پر لاگو کیا جا سکتا ہے، اور کئی اہم عمل کے پیرامیٹرز کی غیر تباہ کن پیمائش کر سکتے ہیں: جیسے موٹائی ، ساخت، کھردری، کثافت، porosity، کے ساتھ ساتھکرسٹل ساختاور کرسٹل ڈھانچے کے نقائص۔
1. ویفر کی پیداوار میں، نقائص کی تعداد اور قسم بعد کے مراحل کو بہت متاثر کرے گی۔ ایکس رے ٹاپولوجیکل امیجنگ (ایکس آر ٹی) واضح طور پر ویفر کی سطح پر نقائص اور نقل مکانی کا مشاہدہ کر سکتی ہے (شکل 1)۔ پروڈیوسروں کو عمل کو بہتر بنانے اور معیار کو کنٹرول کرنے میں مدد کریں۔
شکل 1: 4H-sic ویفر کی ٹرانسمیشن ٹوپولوجی امیجنگ
2. ویفر یا epitaxial فلم کی یکسانیت کی طرف سے ماپا جا سکتا ہےایکس آر ڈیسوئنگ کریو فنکشن، اور ریگاکو کی طرف سے فراہم کردہ ویژولائزیشن سوفٹ ویئر ماڈیول دو جہتی تقسیم کی تصاویر بھی دے سکتا ہے، جو سطح کے معیار کا بخوبی اندازہ لگا سکتا ہے (شکل 2)۔
شکل 2: نیلم کے سبسٹریٹ پر اگنے والی ال این فلم کی دو جہتی تصویر
3. فلم کی موٹائی کو ہائی ریزولوشن سوئنگ کریو سے ماپا جا سکتا ہے، جو کہ غیر تباہ کن اور انتہائی درست ہے (شکل 3)۔
شکل 3: GaN/InxGa(1-x)N فلموں کی موٹائی کی پیمائش کے لیے ہائی ریزولوشن سوئنگ وکر
4. ویفر یا ایپیٹیکسیل فلم کی نشوونما کے دوران کسی قسم کی جالی کی مماثلت ہوسکتی ہے، جو فلم کے معیار کو متاثر کرے گی۔ ریگاکو کے خصوصی ڈٹیکٹر اور حل کا استعمال کرتے ہوئے، سمارٹ لیب پر باہمی خلائی جانچ کی جا سکتی ہے، جہاں جالیوں سے مماثلت نہیں ہے اورکرسٹاللوگرافکمستقل کو بہت بدیہی طور پر دیکھا جا سکتا ہے۔
شکل 4: GaN105 کا اعلی ریزولوشن باہمی مقامی سپیکٹرم