ایکس رے ڈفریکٹومیٹر کے ضروری اجزاء میں ایکس رے جنریٹر اور ایکس رے ڈیٹیکٹر شامل ہیں۔ جب واقعہ کے ایکسرے کو نمونے کی سطح پر ڈائریکٹ کیا جاتا ہے، تو ایکس رے ڈٹیکٹر کو ڈفریکشن قانون کے مطابق رکھا جاتا ہے تاکہ بیک وقت شدت اور تفاوت کا زاویہ θ ریکارڈ کیا جا سکے۔ کرسٹل ہوائی جہاز جہاںایکس رے کا پھیلاؤاس وقت ہوتی ہے ہمیشہ نمونے کی سطح کے متوازی ہے.
یہ نوٹ کرنا ضروری ہے کہ ایکس جنریٹر کے ذریعہ تیار کردہ ایکس رے ماخذ مختلف طول موجوں کے ساتھ ایکس رے کی ایک بڑی تعداد کو خارج کرتا ہے۔ لہذا، پیمائش کی درستگی کو یقینی بنانے کے لئے، جدیدایکس رے ڈفریکٹومیٹراعلی معیار کے پھیلاؤ کے نمونوں کو حاصل کرنے کے لیے اکثر نمونے اور ایکس رے ڈیٹیکٹر کے درمیان مونوکرومیٹر یا فلٹر شامل کرتے ہیں۔
ایکس رے طول موج کا انتخاب ایکس رے جنریٹر کے ٹارگٹ میٹریل سے بہت زیادہ متاثر ہوتا ہے، جس میں عام طور پر استعمال ہونے والے اہداف بشمول کیو, شریک, فے, کروڑ, مو، اور W۔ کیو ٹارگٹ ان کے علاوہ زیادہ تر نمونوں کے لیے موزوں ہے۔ اعلی استحکام اور مطابقت کی وجہ سے کیو اور فے پر مشتمل ہے۔ فے نمونوں کی جانچ کے لیے، ایک مونوکرومیٹر کے ساتھ شریک ہدف اور فلٹر کے ساتھ فے ہدف کی سفارش کی جاتی ہے۔ کروڑ ہدف زیادہ تر نمونوں کی جانچ کے لیے بہترین مطابقت بھی پیش کرتا ہے۔ مو ہدف خاص طور پر اس کی مخصوص طول موج کی وجہ سے آسٹنائٹ کے مقداری تجزیہ کے لیے موزوں ہے۔ آخر میں، ڈبلیو ہدف مسلسل فراہم کرتا ہے۔ایکسرےشدت اور اکثر سنگل کرسٹل کی لاؤ فوٹوگرافی کے لیے استعمال ہوتا ہے۔