ایکس رے کا پھیلاؤ تکنیک کا استعمال اکثر ویفرز اور ایپیٹیکسیل ویفرز کے کرسٹل معیار کا پتہ لگانے کے لیے کیا جاتا ہے۔ اس پیمائش کی تکنیک کے ساتھ، فیز اور جالی کے مستقل، کرسٹلنیٹی، ڈس لوکیشن ڈینسٹی، بقایا تناؤ، اور ساخت اور موٹائی جیسی معلومات حاصل کی جا سکتی ہیں۔ شکل 1 روایتی ایکس آر ڈی آلات کی منصوبہ بندی کا خاکہ دکھاتا ہے۔

سکیننگ کے مختلف طریقوں کے مطابق، شکل 2 ایکس رے ماخذ، ڈٹیکٹر اور نمونے کی آزادی کی گردشی ڈگریوں کو ظاہر کرتی ہے۔ایکس آر ڈی پتہ لگانے میں پیمائش کے درج ذیل طریقے ہیں:

(1) دوم/میںاسکین، کہاںمیںعام طور پر 2 کا نصف ہوتا ہے۔میں. یہ پاؤڈر کے نمونوں کی ایکس آر ڈی پیمائش کے لیے عام طور پر استعمال شدہ سکیننگ کا طریقہ بھی ہے، جسے ہم آہنگ یا جوڑے ہوئے سکیننگ بھی کہا جاتا ہے۔ بہت پتلی فلم کے نمونوں کے لیے، ایکس رے بیم کو ایک چھوٹے سے اسکیننگ زاویہ پر طے کیا جا سکتا ہے، اور ڈٹیکٹر 2 کی سمت میں حرکت کرتا ہے۔میںسگنل جمع کرنے کے لیے۔ اس طرح کے ایک چھوٹے زاویہ کا پتہ لگانے کے طریقہ کار کو چرنے کے واقعات ایکس آر ڈی کا پتہ لگانے بھی کہا جاتا ہے۔ ایکسرے کے ذریعے نمونے کے مرحلے کی ساخت، تناؤ کا تناؤ اور اناج کا سائز حاصل کیا جا سکتا ہے۔بازیچوٹیوں کو 2θ/ω سے سکین کیا گیا ہے۔

(2) پولر گراف کی پیمائش۔ قطبی خاکہ سرکلر ہوتا ہے اور عام طور پر ریڈیل کوآرڈینیٹس کے ساتھ قطبی نقاط میں بنایا جاتا ہے۔ میں اور کونیی نقاطمیں. یہ سطح کی ساخت کے نمونوں کے لیے خاص طور پر موزوں ہے۔ کچھ معاملات میں، پولر امیجز کی مکمل یا سیریز ضروری نہیں ہوتی ہے اور اسے ایزیمتھ اسکین کے ذریعے ماپا جا سکتا ہے،میںسکین اس وقت، ہوائی جہاز سے باہر واقفیت کی معلومات کو 2 تک پہلے سے طے کرنے کی ضرورت ہے۔میں/میںسکیننگ، اور کرسٹل چہرے کی اندرونی معلومات قطب امیج کی پیمائش کے ذریعے حاصل کی جا سکتی ہے۔میںسکیننگ، تاکہ کرسٹل کی ہم آہنگی کا مزید فیصلہ کیا جا سکے۔