سنگل کرسٹل ایپیٹیکسیل پتلی فلموں کی ہائی ریزولوشن ایکس آر ڈی کی خصوصیت
2023-11-24 10:00HRXRD ایک طاقتور ہے۔غیر تباہ کن ٹیسٹنگطریقہ کار، اور اس کی تحقیقی اشیاء بنیادی طور پر سنگل کرسٹل مواد، سنگل کرسٹل ایپیٹیکسیل پتلی فلمی مواد اور مختلف کم جہتی سیمی کنڈکٹر ہیٹرسٹرکچر ہیں۔ یہ وسیع پیمانے پر سنگل کرسٹل کے معیار، موٹائی، سیل پیرامیٹرز اور epitaxial فلموں کے دیگر ساختی پیرامیٹرز کی پیمائش کے لیے استعمال ہوتا ہے۔
2 تھیٹا/اومیگا اسکیننگ کا استعمال سطح کے متوازی جوہری تہوں کے مربوط بکھرنے کا پتہ لگانے کے لیے کیا جاتا ہے اور اس کا استعمال ان، جہاز سے باہر کے سیل پیرامیٹرز، موٹائی اور دیگر پیرامیٹرز کی ساخت کا تعین کرنے کے لیے کیا جا سکتا ہے۔
GaN (0002) کا 2 تھیٹا/اومیگا اسکیننگ پیٹرنکرسٹلچہرہ
واضح سپرلیٹیس سوئنگ چوٹیوں اور سپر لیٹیس چوٹیوں کے درمیان پتلی فلم کی مداخلت کے کنارے۔
RSM پتلی فلموں اور ذیلی جگہوں کے درمیان مماثلت اور پتلی فلموں کے نقائص کا تجزیہ کرنے کا ایک بدیہی طریقہ ہے۔ جدیدHRایکس آر ڈی1D ڈیٹیکٹر کا استعمال ٹیسٹ کی رفتار کو بہت بہتر بنا سکتا ہے، RSM کے تیز حصول میں صرف دسیوں سیکنڈ لگتے ہیں۔
تصویر 2 تھیٹا/اومیگا اسکین کی مکمل سپیکٹرم فٹنگ کا نتیجہ ہے۔ یہ دیکھا جا سکتا ہے کہ فٹنگ کا نقشہ ٹیسٹ کے اعداد و شمار کے ساتھ اچھے معاہدے میں ہے۔ میں کا مواد ترقی کے عمل میں ایک اہم پیرامیٹر ہے۔ لہذا HRXRD جمع کرنے کے عمل کی نگرانی کے لیے ایک طاقتور ٹول ہے۔